한국의
JST FFKM 소재 - KALFLUO 8520
JST KALFLUO 8520은 고순도, 우수한 내화학성 및 열 안정성 특성을 갖춘 매우 고성능 응용 분야를 위해 특별히 경화된 일종의 FFKM 소재입니다. 주로 반도체 제조 분야 에 사용되며 대부분의 건식( 플라즈마 에칭, PECVD, LPCVD, 금속 CVD, PVD, ALD, 플라즈마 세정) 및 습식 반도체 공정(웨이퍼 세정, 폴리머 제거, 습식 에칭, 세련).
-10°C ~ 300°C 범위의 온도 범위에 적용하기에 적합합니다.
KALFLUO 8520의 물리적 특성:
KALFLUO 8520의 유체 저항 특성:
Kalfluo 8520의 금속 원소 검출(용매 침지):
80℃, 720시간 동안 18M Ω UPDI 물에서 금속 원소 침전 검출, ppb, ug/L) ICP-MS-MS)
검사 결과:
비고: 1- 검출 한계 값: 1ppb; 2- ND=감지되지 않음.
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