그만큼 반도체 산업 완벽한 생산 공정을 보장하기 위해 정밀성, 신뢰성, 그리고 오염 없는 환경을 요구합니다. 이러한 사명의 핵심에는 극한의 조건을 견딜 수 있는 특수 밀봉 솔루션이 있습니다. FFKM(퍼플루오로엘라스토머) O-링 반도체 제조의 핵심 응용 분야에서 황금 표준으로 떠올랐으며, 공격적인 화학물질, 플라즈마 노출 및 초고온에 대한 탁월한 내구성을 제공합니다.

FFKM이 반도체 응용 분야에서 기존 소재보다 우수한 이유

퍼플루오로엘라스토머(FFKM) O-링 탄소-불소 결합을 가지고 있어 열적으로 가장 안정적이고, 산화적으로 안정적이며, 화학적으로 가장 안정적인 불소화 중합체 중 하나입니다.

플라스마 에칭, 화학 기상 증착(CVD), 웨이퍼 세척과 같은 공정의 경우, FFKM 씰 다른 재료가 분해되는 곳에서도 무결성을 유지하여 비용이 많이 드는 입자 생성이나 계획되지 않은 가동 중지를 방지합니다.

일본 표준시 반도체, 석유화학, 계측기, 에너지, 생물제약, 식품 및 의료 산업 분야의 장비 제조업체와 사용자의 점점 더 까다로워지는 밀봉 요구 사항을 충족하기 위해 FFKM KALFLUO® 밀봉 제품을 개발했습니다.