순도와 정밀도가 필수적인 까다로운 반도체 제조 분야에서는 모든 구성 요소가 중요합니다. 특히, 밀봉 솔루션 여기가 바로 그곳입니다. 퍼플루오로엘라스토머(FFKM) 누구도 부정할 수 없는 챔피언으로 두각을 나타내다.

반도체 제조 공정은 극한의 환경을 수반합니다. 공격적인 플라즈마 환경, 고온(종종 300°C 이상), 강력한 화학 물질 및 에칭제에 노출되는 등의 문제가 발생합니다. FKM(Viton®)이나 실리콘과 같은 일반적인 엘라스토머는 열화되어 입자 발생, 장비 오염, 그리고 비용이 많이 드는 예기치 않은 가동 중단으로 이어질 수 있습니다.

FFKM은 이러한 과제들을 직접적으로 해결하는 독특한 속성들을 제공합니다.

탁월한 내화학성: 완전 불소화 구조로 인해 강력한 공정 화학 물질, 플라즈마 및 O₃, HF, SC-1/SC-2 용액과 같은 공격적인 세척제에 거의 완벽하게 내성을 갖습니다.

초고순도: FFKM 구성 요소는 추출 가능한 금속 및 이온 불순물 수준이 극히 낮아 민감한 웨이퍼를 손상시킬 수 있는 오염을 방지합니다.

탁월한 열 안정성: 이 소재는 다른 엘라스토머가 경화되어 파손되는 고온 환경에서도 탄성과 밀봉력을 유지합니다.

탁월한 플라즈마 저항성: 에칭 및 증착 챔버에 필수적인 FFKM은 플라즈마에 직접 노출되어 발생하는 침식 및 분진에 강하여 입자 생성을 최소화합니다.

제조 공정의 주요 응용 분야:

CMP(화학 기계적 평탄화): 마모성 슬러리를 처리하는 씰 및 다이어프램.

에칭 및 CVD(화학 기상 증착) 챔버: 웨이퍼 공정 모듈의 핵심 부품인 O링, 개스킷 및 씰.

웨이퍼 핸들링: 로봇, 적재 잠금 장치 및 이송 모듈의 밀봉재.

습식 처리: 초고순도 산 및 용제를 운반하는 욕조 및 배관용 밀봉재.

FFKM은 초기 투자 비용이 더 높지만, 그 가치는 분명합니다. 장비 가동 시간을 극대화하고, 수율을 보호하며, 공정의 무결성을 보장합니다. 점점 더 소형화되고 오염 제어가 엄격해지는 반도체 산업에서 FFKM은 단순한 소재가 아니라 첨단 반도체 제조를 가능하게 하는 필수적인 요소입니다.